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洲上凈化公司分析復合式凈化工程有哪三類

返回列表 來源:洲上凈化 瀏覽: 發布日期:2018-07-12 11:04:37【

復合式凈化工程為將亂流式及層流式予以復合或并用,可提供局部超潔凈之空氣的凈化工程。復合式凈化工程可以分三類:潔凈隧道、潔凈管道、并裝局部潔凈室。

洲上凈化公司分析復合式凈化工程有哪三類

(1)潔凈隧道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA過濾器將制程區域或工作區域100%覆蓋使潔凈度等級提高至10級以上,可節省安裝運轉費用。此型式需將作業人員之工作區與產品和機器維修予以隔離,以避免機器維修時影響工作及品質。ULSI制程大都采用此種型式。

潔凈隧道另有二項優點:A.彈性擴充容易; B.維修設備時可在維修區輕易執行。

(2)潔凈管道(Clean Tube):將產品流程經過的自動生產線包圍并凈化處理,將潔凈度等級提至100級以上。因產品和作業員及發塵環境相互隔離,少量之送風即可得到良好之潔凈度,可節省能源,不需人工的自動化生產線為最適宜使用。藥品、食品業界及半導體業界均適用。

(3)并裝局部潔凈室(Clean Spot):將潔凈室等級10,000~100,000之亂流潔凈室內之產品制程區的潔凈度等級提高為10~1000級以上,以為生產之用;潔凈工作臺、潔凈工作棚、潔凈風柜即屬此類。

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