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集成電路無塵車間平面布置的幾種形式

返回列表 來源:洲上凈化 瀏覽: 發布日期:2019-06-03 16:37:29【

隨著工藝牛產技術的不斷發展,IC生產對于環境及其他配套系統的要求也相應越來越嚴格,說到環境首當其沖的是無塵車間,8”、12”IC生產無論對潔凈度、溫濕度還是空氣中分子級污染物(AMC)、防微振、防靜電等都有極嚴格的要求,有些苛刻的要求甚至使某些傳統的做法受到挑戰。

集成電路(IC)是集多種高新技術于一體的高科技產品,它幾乎存在于所有工業部門,對國民經濟的發展起著“倍增器”的作用,因此被先進國家作為戰略性產業。同時IC產業也是當今世界上發展最為迅速、競爭最為激烈的產業。


無塵車間從平面布置劃分一般有三種形式:即開放式、港灣式、島形布置,IC前工序生產廠通常采用港灣式和開放式無塵車間,港灣式無塵車間在5”、6”IC生產廠用得較多,其工藝設備為穿墻式:而8”、12”IC生產廠則普遍采用開放式無塵車間加微環境的方式。
 

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