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半導體無塵車間相對濕度在35%到40%之間

返回列表 來源:洲上凈化 瀏覽: 發布日期:2019-06-26 15:58:32【

無塵車間是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除,并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內,而所給子特別設計之房間。相對濕度在35%到40%之間可以作為一個令人滿意的折中,半導體無塵車間、潔凈室一般都使用額外的控制裝置以限制靜電荷的積累。亦即是不論外在之空氣條件如何變化,其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。

 

很多化學反應的速度,包括腐蝕過程,將隨著相對濕度的增高而加快。所有暴露在無塵車間、潔凈室周圍空氣中的表面都很快地被覆蓋上至少一層單分子層的水。當這些表面是由可以與水反應的薄金屬涂層組成時,高濕度可以使反應加速。

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